Europa-247.de
Führendes französisches Forschungsinstitut setzt auf FRT
Datum: Mittwoch, dem 06. Oktober 2010
Thema: Europa Infos
CEA-LETI in Grenoble kauft spezielle Wafer-Messtechnik
Bergisch Gladbach - Eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen für die Segmente Mikroelektronik sowie Informations- und Gesundheitstechnologie setzt auf Oberflächen-Messtechnik aus dem Rheinland. CEA-LETI arbeitet zukünftig mit einem vollautomatischen Wafer Inspektionssystem der Serie FRT MFE (Metrology For Frontend). Mit diesem Gerät hat Fries Research & Technology (FRT) eine Lösung entwickelt, die für die unterschiedlichsten Messaufgaben während der Prozesskontrolle in der Wafer Herstellung geeignet ist. Außerdem wird die Anlage zur Grundlagenforschung für die zukunftsweisende 3D-IC Verbindungstechnologie eingesetzt.
CEA-LETI gehört zur französischen Großforschungseinrichtung "Commissariat à l'Ènergie Atomique et aux Ènergies Alternatives" (CEA) in Grenoble, in den französischen Alpen. Zum Einsatz kommt dort in Zukunft ein MFE-System, mit dem sowohl Rohwafer als auch strukturierte und gebondete Wafer hochauflösend und nach SEMI-Standards charakterisiert werden können. Für 3D-IC / TSV-Messungen (Through Silicon Vias) wurde das Geräte auf eine neue Technologie vorbereitet, die besonders kleine TSV mit sehr hohem Aspektverhältnis (
FRT MicroProf: Modulare und zukunftssichere Multisensor-Messtechnik
Die FRT Multisensor Messtechnik, die auch vom 19.-21. Oktober auf der SEMICON Europa präsentiert wird (Stand: 1.649) ist optimal auf die vielfältigen Messaufgaben in der Wafer Metrologie vorbereitet. Dank ihrer Modularität ist sie bestens für zukünftige Erweiterungen gerüstet. Durch die Kombination mehrerer Messverfahren in einem universellen Gerät kann der Platzbedarf in der Produktionsumgebung minimiert werden kann. Mit einem optionalen Waferhandling erreichen die Lösungen einen sehr hohen Automatisierungsgrad. Zum Einsatz kommen MicroProf Messgeräte bei führenden internationalen Herstellern und Forschungsinstituten der Mikroelektronik- und Mikrosystemtechnik sowie Photovoltaik, Medizintechnik, der Automobilbranche und dem Maschinenbau.
FRT live
Sie finden FRT auf folgenden Messen:
- testXpo, Fachmesse für Prüftechnik, Ulm (11. - 14. Oktober 2010)
- SEMICON Europa 2010, Dresden (19.-21. Oktober 2010), Stand 1.649
Fries Research & Technology GmbH - the art of metrology
Fries Research & Technology GmbH (FRT) bietet 3D-Oberflächenmesstechnik bis zur Mikro- und Nanometerauflösung für Forschung und Produktion. Die mehrfach ausgezeichneten Messsysteme von FRT liefern berührungslos und zerstörungsfrei sowie wahlweise vollautomatisch Informationen über die Topographie, Struktur, Stufenhöhe, Rauheit, Verschleiß, Schichtdicke und viele andere Parameter. Mehr als 300 Anlagen sind weltweit bei Unternehmen aus den Branchen wie z.B. Automotive, Halbleiter, Mikrosystemtechnik, Optik, Solar/Photovoltaik im Einsatz.
Das Unternehmen hat seinen Sitz in Bergisch Gladbach bei Köln und unterhält Tochtergesellschaften in den USA, China und der Schweiz sowie ein Vertriebs- und Servicenetz in den USA, Asien und Europa.
FRT, Fries Research & Technology GmbH
Jens Bonerz
Friedrich-Ebert-Straße
51429 Bergisch Gladbach
02204 842430
http://frt-gmbh.com
Pressekontakt:
Alpha & Omega PR
Oliver Schillings
Am Mühlenberg 47
51465
Bergisch Gladbach
o.schillings@aopr.de
02202 / 959 002
http://aopr.de
CEA-LETI in Grenoble kauft spezielle Wafer-Messtechnik
Bergisch Gladbach - Eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen für die Segmente Mikroelektronik sowie Informations- und Gesundheitstechnologie setzt auf Oberflächen-Messtechnik aus dem Rheinland. CEA-LETI arbeitet zukünftig mit einem vollautomatischen Wafer Inspektionssystem der Serie FRT MFE (Metrology For Frontend). Mit diesem Gerät hat Fries Research & Technology (FRT) eine Lösung entwickelt, die für die unterschiedlichsten Messaufgaben während der Prozesskontrolle in der Wafer Herstellung geeignet ist. Außerdem wird die Anlage zur Grundlagenforschung für die zukunftsweisende 3D-IC Verbindungstechnologie eingesetzt.
CEA-LETI gehört zur französischen Großforschungseinrichtung "Commissariat à l'Ènergie Atomique et aux Ènergies Alternatives" (CEA) in Grenoble, in den französischen Alpen. Zum Einsatz kommt dort in Zukunft ein MFE-System, mit dem sowohl Rohwafer als auch strukturierte und gebondete Wafer hochauflösend und nach SEMI-Standards charakterisiert werden können. Für 3D-IC / TSV-Messungen (Through Silicon Vias) wurde das Geräte auf eine neue Technologie vorbereitet, die besonders kleine TSV mit sehr hohem Aspektverhältnis (
FRT MicroProf: Modulare und zukunftssichere Multisensor-Messtechnik
Die FRT Multisensor Messtechnik, die auch vom 19.-21. Oktober auf der SEMICON Europa präsentiert wird (Stand: 1.649) ist optimal auf die vielfältigen Messaufgaben in der Wafer Metrologie vorbereitet. Dank ihrer Modularität ist sie bestens für zukünftige Erweiterungen gerüstet. Durch die Kombination mehrerer Messverfahren in einem universellen Gerät kann der Platzbedarf in der Produktionsumgebung minimiert werden kann. Mit einem optionalen Waferhandling erreichen die Lösungen einen sehr hohen Automatisierungsgrad. Zum Einsatz kommen MicroProf Messgeräte bei führenden internationalen Herstellern und Forschungsinstituten der Mikroelektronik- und Mikrosystemtechnik sowie Photovoltaik, Medizintechnik, der Automobilbranche und dem Maschinenbau.
FRT live
Sie finden FRT auf folgenden Messen:
- testXpo, Fachmesse für Prüftechnik, Ulm (11. - 14. Oktober 2010)
- SEMICON Europa 2010, Dresden (19.-21. Oktober 2010), Stand 1.649
Fries Research & Technology GmbH - the art of metrology
Fries Research & Technology GmbH (FRT) bietet 3D-Oberflächenmesstechnik bis zur Mikro- und Nanometerauflösung für Forschung und Produktion. Die mehrfach ausgezeichneten Messsysteme von FRT liefern berührungslos und zerstörungsfrei sowie wahlweise vollautomatisch Informationen über die Topographie, Struktur, Stufenhöhe, Rauheit, Verschleiß, Schichtdicke und viele andere Parameter. Mehr als 300 Anlagen sind weltweit bei Unternehmen aus den Branchen wie z.B. Automotive, Halbleiter, Mikrosystemtechnik, Optik, Solar/Photovoltaik im Einsatz.
Das Unternehmen hat seinen Sitz in Bergisch Gladbach bei Köln und unterhält Tochtergesellschaften in den USA, China und der Schweiz sowie ein Vertriebs- und Servicenetz in den USA, Asien und Europa.
FRT, Fries Research & Technology GmbH
Jens Bonerz
Friedrich-Ebert-Straße
51429 Bergisch Gladbach
02204 842430
http://frt-gmbh.com
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Oliver Schillings
Am Mühlenberg 47
51465
Bergisch Gladbach
o.schillings@aopr.de
02202 / 959 002
http://aopr.de
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